A-appareil ti plasma ti RF so ayeke na yâ ti vide

A-appareil ti plasma ti RF so ayeke na vide ayeke mbeni ye so a leke ni nde ti tene a sukula na a sara kua na aplaque ti circuit so a imprimé ni, mbilimbili ndali ti a-application ti substrat ti IC. A yeke sala kusala na ni mingi na peko ti so a sala kusala na a-image ti film so ahule nga na peko ti -masque ti soudure, ndo so a leke nzoni ndo ni ayeke kota ye mingi ti sala si ngangu ti gbungo ye ni aga nzoni ahon na ti tene a lingbi ti zia bê na ndo ni mingi na ngoi ti akusala so ayeke ga na pekoni. Na salango kusala na plasma na yâ ti mbeni chambre so ayeke na vide so a bata ni nzoni, ye ni ayeke zi nzoni angbele ye ti tele nga na asioni ye so ayeke na ndo ni, na a sala si kusala ti bungbingo ye kue aga nzoni ahon nga na nzoni ti aye so a leke.

Mbeni ye so ayeke nde na aye so ayeke so a leke ni na chambre use-. A yeke wara na yâ ti chambre oko oko mbeni pompe ti vide nga na mbeni générateur ti plasma RF, so amû lege ti sara kua legeoko wala ti sara kua na ni na place ti mba. Ye so ayeke sara si a yeke sara kua mingi pëpe, me a yeke sara nga si a lingbi ti sara kua na ni nzoni. Ti tene a ngbâ lakue ti duti nzoni teti ngoi mingi, a zia na yâ ti système ni mbeni module ti refroidissement so ayeke na boucle so a kanga ni so ayeke sara si a yeke sara kua nzoni na a-pompe nga na a-source ti plasma. Ti a-ligne ti lekengo ye so ahunda ti tene a sara kua na automatisation, a lingbi ti zia ambeni ye na ndo ni ti tene a sara kua na maboko mingi pëpe nga ti tene a sara kua nzoni na a-appareil so ayeke na nduzu nga na so ayeke na gbe ni.

A leke aye so ayeke hon na yâ ti système ni nzoni. A yeke mû atableau na ndo ti station ti entrée ni na a yeke bata ni na lege ti a-appareil ti gbungo na a-robot, so na pekoni a yeke zia a-substrat ni na yâ ti mbeni kete -cadre. Na mungo maboko ti mbeni plateforme ti ascenseur nga na arouleau so ayeke pusu ni, a yeke gue na aplanche ni na yâ ti chambre so ayeke na vide ti tene a sara kua na plasma. Tongana a hunzi ti sala kusala na ni awe, a-oko rouleau ni so ayeke zi aplanche ni na yâ ti chambre ni, na ndo so azo ti gbungo ni ayeke kiri ti mû ni na ala yeke mû ni na mbeni ndo nde. Sub-cadre ni ayeke tambela gi lo oko na popo ti a-station, na a yeke sara si kua ni atambela nzoni nga ayeke sara kua nzoni sân ti tene a zia ngoi ti kua ni senge senge.