A leke masini ti gravure na plasma

A-appareil ti ICP ayeke mingi ni ambage osio: chambre ti vide ti pré-, chambre ti gravure, système ti mungo gaz na système ti vide.

(1) Chambre ti vide kozoni

Kusala ti chambre ti pre-vide ayeke ti tene chambre ti gravure ni aduti na mbeni nivo ti vide so a leke ni awe, ti tene aye so ayeke na gigi asara ngangu na ndo ni pëpe (tongana poussière, pupu ti ngu), nga ti zi asioni gaz na yâ ti chambre so ayeke propre. Lo yeke na mbeni couvercle, mbeni manipulateur, mbeni mécanisme ti transmission, mbeni porte ti isolation, na ambeni ye tongaso.

(2) Chambre ti gravure .

Chambre ti gravure ni ayeke kota ye so a leke na yâ ti a-appareil ti gravure ti ICP. Lo yeke sara ngangu na ndo ti vitesse ti gravure ni, verticalité ti gravure ni nga na rudeur ni. Akota ye so ayeke na yâ ti chambre ti gravure ni ayeke: électrode ti nduzu, fréquence ti radio ICP, fréquence ti radio RF, système ti électrode ti gbe ni, système ti bango ndo na ndo ti temperature, na ambeni ye tongaso.

(3) Système ti mungo gaz .

A yeke mû gaz ni ti mû na azo nde nde ti gaz ti gravure na yâ ti chambre ti gravure ni, na ti bâ lege ti gaz ni nzoni nga ti hon na yâ ti a-appareil ti bango lege ti pression (PC) nga na ti bango lege ti masse (MFC). A yeke wara na yâ ti système ti gaz ni mbeni bozo ti source ti gaz, mbeni tuyau ti mungo gaz, mbeni système ti komande, mbeni unité ti mélange, na ambeni ye tongaso.

(4) Système ti vide .
A yeke wara a-appareil ti vide use, oko ayeke ndali ti chambre ti pre-vide na mbeni ayeke ndali ti chambre ti gravure. A yeke zi yâ ti chambre ti pre-vide ni na lege ti mbeni pompe ti mécanique. Gi tongana nivo ti vide so ayeke na yâ ti chambre ti vide ti pré-asi na ngere so a zia, a lingbi ti zi yanga ti isolation ni ti mû na wafer ni. A yeke wara na yâ ti chambre ti gravure ni mbeni pompe ti masini nga na mbeni pompe ti molécule. A yeke zi nga agaz so alondo na yâ ti chambre ti gravure ni na yâ ti système ti vide.